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美國計量測試學會純水水質標準
| 序號 | 水質項目 | 單位 | E-Ⅰ | E-Ⅱ | E-Ⅲ | E-Ⅳ |
| 1 | 電阻率，25℃ | MΩ·cm | 18① | 15② | 2 | 0.5 |
| 2 | 二氧化硅（全） | μg/L | 5 | 10 | 100 | 1000 |
| 3 | 微粒（粒徑＞1μm） | 個/mL | 2 | 5 | 100 | 500 |
| 4 | 微生物 | 個/mL | 1 | 10 | 50 | 100 |
| 5 | 有機物（TQC） | μg/L | 50 | 200 | 1000 | 5000 |
| 6 | 銅Cu | μg/L | 2 | 10 | 100 | 1000 |
| 7 | 氯Cl | μg/L | 2 | 10 | 100 | 500 |
| 8 | 鉀K | μg/L | 1 | 10 | 200 | 1000 |
| 9 | 鈉Na | μg/L | 1 | 10 | 200 | 1000 |
| 10 | 鋅Zn | μg/L | 5 | 20 | 200 | 500 |
| 11 | 總固體 | μg/L | 10 | 50 | 500 | 2000 |
①90％時間純水電阻率應≥18 MΩ·cm，允許短時間不小于17 MΩ·cm。
②90％時間純水電阻率應≥15 MΩ·cm，允許短時間不小于12 MΩ·cm。
說明： 1. 表中2～11項均指高允許含量。
2. 本表按1983年資料摘錄。
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